蚀刻机和光刻机之间的区别，国产5nm蚀刻机取得台积电认证

来源：梦想科学社　2021-12-24 22:00:24

最近5nm刻蚀机被炒的很火，网上铺天盖地的消息都在说，中国芯片已经实现弯道超车，我国芯片将自给自足，不用担心被卡脖子的问题了。其实这种说法是极其不专业的，纯粹就是偷天换日、混淆视听。

乍一看光刻机和蚀刻机非常接近，但是光刻机和蚀刻机却不能混为一谈，因为蚀刻只是制造芯片其中之一的环节罢了。而刻蚀机也只是诸多芯片制造设备其中之一。下面我给大家聊一下蚀刻机。

蚀刻机和光刻机其实就是完全不同的两种设备，不论从功能还是结构上来说都是天差地别，光刻机是整个芯片制造过程中最为核心的设备，芯片的制程是由光刻机决定的，而不是蚀刻机。

从工作原理上看光刻机和蚀刻机。

如果把制造芯片比喻成盖房子，那么光刻机的作用就是把房子的结构标注在地上。刻蚀机就是在光刻完成以后才登场的设备，也是光刻完成以后最为重要的设备之一。刻蚀机最主要的作用就是按照光刻机已经标注好的线去做基础建设，把不需要的地方给清除掉，只留下光刻过程中标注好的线路。

从结构上来看光刻机和蚀刻机。

光刻机的最主要的核心技术就是光源和光路，其光源和光路的主要组成部分有四个，光源、曝光、检测、和其他高精密机械组成。对比之下，蚀刻机的结构组成就要简单很多，主要是等离子体射频源、反应腔室和真空气路等组成。

从售价来看蚀刻机和光刻机。

ASML的EUV光刻机单台售价高达1.2亿美元，而蚀刻机的售价就要低很多了，每台售价在几十万到几百万美元之间。

蚀刻机的相关工作原理我之前有发文，有感兴趣的可以去我主页去找，这里我也不再过多叙述。

国产蚀刻机就给我国半导体领域做了一个很好的榜样，我国中微半导体研发出国际主流的5nm蚀刻机并取得台积电的认证后，美国商务部就把蚀刻机从对华出口限制清单上移除了。这充分说明了一件事情，只要自己有了核心技术，对手就没法再打压你。

总体来说，我国在半导体领域还相对比较落后，还有较长的路要走，但是只要我们坚持走下去，就一定可以看见彩虹。

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