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使用白光干涉仪过程中的疑问

1、问：测量到最小尺寸能否达到12ΜM，或者能够测到更小尺寸？答：可以，垂直分辨率是0 1nm，XY分辨率依物镜而有

网络 2021-12-21 10:00:09