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可实现超精细半导体电路 三星或将于年内引入Inpria无机光刻胶

据韩国媒体报道，三星正致力于推动光刻胶供应多元化的实现，计划在今年之内引入Inpria的无机光刻胶，目前已经完成评估，有望应用于5nm超精

中关村在线 2021-07-28 09:07:25