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优化设备 东方晶源首台关键尺寸量测设备拿下订单并出机中芯国际

东方晶源举行国内首台关键尺寸量测设备(CD-SEM)出机仪式，正式宣布斩获订单并出机中芯国际。此次出机的关键尺寸量测设备(型号：SEpA-c410)

IT之家 2021-07-08 14:23:57