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均拥有完全自主知识产权 上海精测交付两台前道量测检测设备

芯研所消息，由上海精测半导体技术有限公司制造的国内首台 12 寸光学线宽测量设备(OCD)与国内唯一 12 寸全自动电子束晶圆缺陷复查设备(

中关村在线 2021-07-16 09:03:19